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1/4英寸即用型气体柜半导体制造阀组盒研究实验室
特征
性能卓越,清洁度高,性价比高
内表面粗糙度达到 10 Ra 微英寸/0.25 微米,可确保最小程度的颗粒产生或夹带。
真正的金属对金属隔膜密封可提供更佳的泄漏完整性
流道中没有偏置弹簧或摩擦装置
可调节止动装置,用于限制出口压力
可定位的带端口的引擎盖环可用
打扫
采用去离子水进行电子级清洗,并通过 ES 500 颗粒认证,适用于内部电抛光型号