半导体作为引领时代变革的新兴科技产业,在人工智能技术、5G通信、太阳能电池板和电信设备等方面取得突破,推动了一批新型智能产业的发展,为人们创造了更加便捷的生活模式。
专注于半导体的制造,除了复杂的技术和工艺之外,电子特种气体或特种气体尤为重要。电子特种气体几乎应用于半导体制造的每一个工序。它是必不可少的原材料,被称为半导体的血液。制造过程涉及 100 多种类型,包括蚀刻、掺杂、外延沉积和清洁。由于电子特种气体的纯度和清洁度将直接影响最终半导体产品的质量和合格率,因此半导体行业对电子特种气体的要求很高。
就半导体行业而言,即使生产气体的纯度得到保证,如果从气体输送到应用的环节出现失误,也不利于半导体制造。如何保证电子气体的清洁度?
这需要半导体流体元件的帮助。无论是用于精确控制气体的阀门、管接头、还是承载电子特种气体的管件,都应符合相关的ASTM SEMI行业标准,并具有以下特性:
1、原材料纯度必须选用超高纯度VIM VAR精炼不锈钢,从源头保证高纯度;
2、成品内表面经过电化学抛光、钝化等工艺处理,实现超洁净,提高产品的耐腐蚀性能;
3、有些电子气体易燃、有毒,因此还应具有优良的密封性、耐高温性和耐磨性。
在符合上述特性的高纯度流体元件的支持下,气体可以避免二次污染,创造安全的工作环境,为各种半导体器件的成功制造做出贡献。
自2017年起,海科洛克连续多年参加以Semicon China为主题的国际半导体展会。在半导体行业拥有丰富的产品应用经验。这超纯系列展现出优异的性能,深受客户青睐。
Hikelok的高纯度系列产品,从原材料选择、高标准工艺处理到无尘组装和包装,满足半导体行业和半工业标准所需的流体元件的要求。类型包括高纯净减压阀,高纯度隔膜阀,高纯度波纹管密封阀门,集成面板,高纯度配件和EP管。有多种尺寸和类型,也可根据不同的安装要求定制。
原材料提供符合SEMI F200305要求的316L VAR和316L VIM-VAR材料,外观光泽好,强度高,耐腐蚀。每件产品外表面均刻有物料的炉批号,保证原材料的可追溯性。
高纯系列有严格的加工标准。完成后,将对内表面进行电化学抛光。该工艺进一步提高了产品的清洁度和耐腐蚀性,减少了产品在使用过程中对气体的潜在污染。
这是一个符合ISO 4级清洁标准的洁净室。产品经过去离子水超声波清洗,洗去内部残留物,用高纯气体干燥,然后双层真空净化和密封包装,确保产品以最洁净的状态交付给您。
海科洛克为气体创造一个洁净、密封、安全的空间,让电子特种气体更好地服务于半导体行业。您想了解更多关于我们的高纯度系列吗?下期再见。
发布时间:2022年2月23日