Folasaga: I tausaga talu ai nei, faʻatasi ai ma le faʻavavevaveina o taavale malosi fou ma le atamai faʻapitoa, o loʻo faʻaauau pea ona tupu le manaʻoga mo semiconductor. O le televave o le atinaʻeina o tekinolosi atamai ua faʻavaveina ai le suiga o le semiconductor tele mai le microelectronic level i le atomic level. Semiconductor tupulaga lona tolu o loʻo faʻafeiloaʻi i se vaitau fou o atinaʻe maualuga! I le taimi lava e tasi, o le gaosiga o gaosiga e sili atu ona faigata. O a oloa mai Hikelok e mafai ona fesoasoani i le atinaʻeina o semiconductor? Tatou aoao atili faatasi!
O fa'atekonolosi fa'alauiloa e pei o le atamai fa'akomepiuta ma fa'amatalaga tetele o malosiaga taua mo le atina'e, e mafua ai le mana'oga e fa'apipi'i fa'atinoga sili atu i tupe meataalo laiti. O lona uiga o le gaosiga o le gaosiga o le a sili atu ona lavelave, e manaʻomia ai le vave tali atu ma le maualuga o le faʻatuatuaina o vaega e faʻamautinoa ai o le a avea ma mea e ave i ai le faʻamuamua maualuga.
Ona o le saʻo ma le lavelave o le gaosiga o vaʻa semiconductor, pe o valve mo le saʻo lelei o le kesi poʻo paipa fesoʻotaʻiga mo le aveina o kasa eletise, e tatau ona latou tausisia tulaga talafeagai ASTM ma SEMI ma maua uiga nei:
1. E tatau ona faʻamamaina mea faʻameamea mataʻutia e faʻaaoga ai le ultra-high purity VAR poʻo le VIM-VAR e faʻamautinoa ai le manaʻomia o le mama maualuga mai le punavai;
2. O le pito i totonu o loʻo faʻafesoʻotaʻi ma le ala e manaʻomia le faʻagasologa o faiga e pei o le eletise eletise ma le pasivation e ausia ai le mama mama aʻo faʻaleleia atili le faʻaleagaina o le oloa;
3. O oloa uamea ma palasitika e tatau ona fetaui ma tulaga talafeagai a le ASTM ma le SEMI e pei o le faʻatonutonuina o suʻesuʻega o le susū i totonu, le aofaʻi o suʻesuʻega o le carbon organic (TOC), ma le puleaina o le filogia o ion.
O oloa fa'asologa maualuga maualuga a Hikelokausia manaoga o le semiconductor alamanuia mo vaega vai ma tausisia tulaga alamanuia ASTM ma SEMI, e aofia ai le filifilia o mea mata, tulaga maualuga tekinolosi faagasologa, ma le faʻapotopotoga suʻega i se 100 tulaga le pefu aʻoaʻoga. O ituaiga oloa e aofia ai va'a fa'aitiitiga fa'aitiitiga mama, va'a fa'amama fa'amama fa'amama, fa'amau fa'amaufa'ailoga fa'amaufa'ailoga, fa'apipi'i tu'ufa'atasi, mea fa'apipi'i mama maualuga, ma paipa EP. E tele ituaiga lapopoa o loʻo avanoa, ma e mafai ona faia faʻapitoa e tusa ai ma manaʻoga faʻapipiʻi i luga ole laiga.
Fa'aaogaina o se u'amea i fa'amaufa'ailoga u'amea e ausia ai fa'amaufa'ailoga fa'atuatuaina o oloa i totonu o le vacuum ma tulaga lelei o le mamafa. A maeʻa le faʻagasologa masani o togafitiga, o le averesi roughness o le polesi luga o le ultra-maualuga mama soofaatasi i fesootaiga ma le ala e mafai ona ausia 10% μ In. (0.25 μm) Ra; A maeʻa togafitiga faʻasolosolo ultra-maualuga mama, o le averesi roughness o luga polesi i faʻafesoʻotaʻi ma le ala e mafai ona ausia 5 μ In. (0.13 μm) Ra. O le nati soofaatasi ultra-maualuga mama ua mamanuina ma se pu e iloa ai le liki, lea e faigofie ai ona iloa le leak. O filo nati e togafitia i le faʻapipiʻiina o le siliva e faʻaitiitia ai le ofuina o filo ma faʻaitiitia ai le lamatiaga o le filo i le taimi o le faʻapipiʻiina.
O le mamafa o le mamanu e fuafua e faʻavae ile ASME B31.3 ma le ASME B31.1. O le fausaga e faʻapipiʻi ma faʻapipiʻi, faʻatasi ai ma fua saʻo. O le pito uelo e saʻo e aunoa ma ni burrs, ma o le mafiafia puipui e tutusa. E mafai ona ausia maualuga fesoʻotaʻiga ma paipa EP ma faʻaleleia le mautu o le uelo. O le talatala o le pito i totonu o le sooga e mafai ona oʻo i le 5 μ In. (0.13 μm) Ra, o le averesi roughness luga luga ina ua uma togafitiga faagasologa masani e 10 μ In. (0.25 μm) Ra. O sooga faʻapitoa faʻapitoa ma faʻamamaina e talafeagai mo faiga mama ultra-maualuga, faiga photovoltaic, ma isi, faʻatasi ai ma ituaiga eseese o lapopoa e filifili mai ai.
2,Fa'amaufa'ailoga fa'amaufa'ailoga le mama maualuga maualuga
O le mamafa galue e mafai ona oʻo atu i le 1000 psig (68.9 pa) ma le maualuga o le vevela o le 482 ℃ (900 ℉). E mafai ona matou tuʻuina atu 316L, 316L VAR uʻamea uʻamea ma mea faʻapipiʻi eseese. O le mamanu fesoʻotaʻiga o le valve e mafai ona faʻamautinoa le faʻatuatuaina o le gaioiga o le vaʻa. O le mamanu o le ulu valve e le mafai ona taamilo e faʻaitiitia ai le ofuina o le nofoa valve, ma o le saʻo lelei o paipa faʻapipiʻi e maua ai le faʻamaufaʻailogaina faʻamaonia ma le ola tautua. O le taʻavale o le paipa faʻafefeteina o loʻo pulea lelei, faʻaleleia lelei le saogalemu ma le ola tautua o le paipa faʻafefe.
O le mamafa galue e mafai ona oʻo atu i le 500 psig (34.4 pa) ma le maualuga o le vevela o le 93 ℃ (200 ℉). 316L ma 316L VAR mea uamea u'amea, faaletonu PCTFE ulu valve e fetaui ma le tele o ala o faasalalauga, ma PI (polyimide) valve ulu e mafai ona saunia. O le saogalemu ma le faʻatuatuaina faʻapipiʻi faʻapipiʻi pulou faʻapipiʻi, saʻo faia paipa faʻapipiʻi e maua ai le faʻamaufaʻailoga faʻamaonia ma le ola tautua, faʻamaufaʻailogaina o le faʻamaufaʻailoga paipa paipa saogalemu ma faʻatuatuaina. E lamolemole le ogalaau alavai fa'atonu fa'apitoa.
O le mamafa galue e mafai ona oʻo atu i le 375 psig (25.8 pa) ma le maualuga o le vevela o le 82 ℃ (180 ℉). 316L mea uamea stainless ma mamanu tafega maualuga. O le mamanu feso'ota'iga o alatoto e mautinoa ai le fa'atuatuaina o le fa'agaoioiga o le va'a alatoto, ma o le fa'ailoga o le ulu o le valve e le fa'asolosolo e fa'aitiitia ai le ofuina i totonu o le nofoaga nofoa va'a. O le mamanu o le tino valve Y-foliga e faʻamautinoa ai o loʻo i ai le inlet ma le outout o le valve i luga o le axis e tasi, e maua ai le maualuga o le tafe ma faʻaitiitia ai le tafe. Electrochemical Polishing togafitiga i luga o le pito i totonu, mama ma lamolemole. Faʻaalia le maualuga o le tafe, maualuga le faʻamaufaʻailoga, ma le maualuga o le saogalemu, o le filifiliga sili lea mo le faʻaogaina o le faʻaogaina o le kesi, faiga faʻamamā, faiga faʻamamaina, ma le faʻaogaina o vailaʻau faʻamama maualuga.
O se masini e faatonutonu ai le mamafa, e masani ona faʻaaogaina e pulea ai le mamafa o luga ma lalo ma le faiga, faʻapipiʻi otometi i luga o le initaneti, ma mataʻituina le tau o le faʻaogaina o le faʻaogaina i le taimi moni. O le maualuga o le faʻaulufale mai o le oloa e mafai ona oʻo atu i le 3500psig (241bar), ma o le faʻasologa o le mamafa o fafo e filifilia e tusa ai ma le tulaga moni o galuega. E tele mea fa'amaufa'ailoga nofoa valve ua filifilia, lea e mafai ona fa'aogaina i kasa fa'aleagaina ma tulaga fa'apitoa kesi, talafeagai mo tulaga faigaluega eseese ma siosiomaga. O le pito i totonu o le oloa o loʻo faʻapipiʻiina eletise i le 10 inisi (0.25) μm) Ra, o le diaphragm ma le valve tino o loʻo faʻamaufaʻailogaina atoatoa ma faʻamaoni maualuga.
O le maualuga o le mamafa (3045psig / 210bar) ma le maualalo o le mamafa (250psig / 17.2bar) e lua ituaiga e avanoa mo filifiliga. 316L VAR ma 316L VIM-VAR valve body meafaitino o loʻo avanoa, faʻatasi ai ma le tele o filifiliga mo le tusi lesona ma le pneumatic. O le faʻaogaina atoatoa o le PCTFE valve seat design faʻaaogaina Elgiloy diaphragm mea e faʻaleleia ai le malosi ma le faʻafefeteina, faʻatasi ai ma le umi o le auaunaga ma le faʻaogaina o le eletise eletise i totonu e oʻo atu i le 5uin (0.13) μm) Ra, o le maualuga o le leisa o le helium e itiiti ifo i le 1. × 10-9std cm3/s
5,EP paipa
EP paipa
Fa'aliga eletise fa'aeletise i totonu ma le talatala o le 10 μ In. (0.25 μm) Ra, o le pito i fafo ua faʻaaogaina le faʻamalo faʻainisinia, fufuluina o le acid ma isi gaioiga, faʻaalia ai se tulaga malamalama atoa. 4 taimi le tulaga saogalemu e mautinoa ai le saogalemu ma le faʻatuatuaina faʻaoga.
O loʻo taʻua i luga o faʻaoga e sili ona fiafia i ai i totonu ole alamanuia semiconductor. O Hikelok o loʻo faʻaauau pea le atinaʻeina o le semiconductor alamanuia ma faʻaaogaina lona poto masani faʻaaogaina oloa e aumai ai le tele o faʻatinoga maualuga ma maualuga oloa i le alamanuia! Mo nisi fa'amatalaga o fa'atonuga, fa'amolemole fa'afeso'ota'i le tusi lesona filifilia a le upegatafa'ilagi aloaia a Hikelok. Afai ei ai ni au fesili filifilia, fa'amolemole fa'afeso'ota'i le aufaigaluega fa'atau fa'apolofesa fa'apolofesa ile 24-itula a Hikelok.
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Taimi meli: Me-09-2024