Semiconductor, nastajajoča tehnološka industrija, ki vodi preobrazbo časa, je naredila preboj v tehnologiji umetne inteligence, komunikaciji 5G, sončnih panelih in telekomunikacijski opremi, spodbudila razvoj številnih novih inteligentnih industrij in ustvarila bolj udoben način življenja za ljudi.
Če se osredotočimo na izdelavo polprevodnikov, je poleg kompleksnih tehnologij in procesov še posebej pomemben elektronski posebni plin ali posebni plin. Elektronski posebni plin se uporablja v skoraj vseh postopkih izdelave polprevodnikov. Je bistvena surovina in se imenuje kri polprevodnikov. Pri izdelavi je vključenih več kot 100 vrst, vključno z jedkanjem, dopiranjem, epitaksialnim nanašanjem in čiščenjem. Ker bosta čistost elektronskega posebnega plina neposredno vplivala na kakovost in stopnjo kvalifikacije končnih polprevodniških izdelkov, ima polprevodniška industrija visoke zahteve za elektronski posebni plin.
Kar zadeva polprevodniško industrijo, tudi če je zagotovljena čistost proizvodnje plina, če pride do napake v povezavi od transporta plina do uporabe, to ni ugodno za proizvodnjo polprevodnikov. Kako lahko zagotovimo čistost elektronskega plina?
To zahteva pomoč komponent polprevodniške tekočine. Ne glede na to, ali gre za ventil za natančno krmiljenje plina, cevni konektor ali cevni priključek, ki prenaša elektronski posebni plin, mora biti skladen z ustreznimi industrijskimi standardi ASTM SEMI in imeti naslednje značilnosti:
1. Čistost surovin je treba izbrati z rafiniranim nerjavnim jeklom ultra visoke čistosti VIM VAR, da se zagotovi visoka čistost iz vira;
2. notranjo površino končnega izdelka je treba obdelati z elektrokemičnim poliranjem, pasivacijo in drugimi postopki, da se doseže ultra čistost in izboljša korozijska odpornost izdelka;
3. Nekateri elektronski plini so vnetljivi in strupeni, zato morajo imeti tudi odlično tesnjenje, visoko temperaturno odpornost in odpornost proti obrabi.
S podporo fluidnih elementov visoke čistosti v skladu z zgornjimi značilnostmi se lahko plin izogne sekundarnemu onesnaženju, ustvari varno delovno okolje in prispeva k uspešni proizvodnji različnih polprevodniških naprav.
Od leta 2017 Hikelok že več let zapored sodeluje na mednarodni razstavi polprevodnikov s temo Semicon China. Ima bogate izkušnje z uporabo izdelkov v industriji polprevodnikov. Theultra čista serijaizkazalo se je za odlično delovanje in so mu stranke naklonjene.
Hikelokovi izdelki serije visoke čistosti, od izbire surovin, obdelave po visokih standardih do sestavljanja in pakiranja brez prahu, izpolnjujejo zahteve tekočih komponent, ki jih zahteva industrija polprevodnikov in polindustrijski standardi. Vrste vključujejo visokoredukcijski ventil čistosti,membranski ventil visoke čistosti,ventil visoke čistosti z mehom,integrirana plošča,fitingi visoke čistosti in EP cev. Obstaja veliko velikosti in vrst, prav tako jih je mogoče prilagoditi glede na različne zahteve glede namestitve.
Za surovine so na voljo materiali 316L VAR in 316L VIM-VAR, ki izpolnjujejo zahteve SEMI F200305, z dobrim sijajem, visoko trdnostjo in odpornostjo proti koroziji. Številka serije peči materiala je vgravirana na zunanjo površino vsakega izdelka, da se zagotovi sledljivost surovin.
Serija visoke čistosti ima stroge standarde obdelave. Po zaključku bo notranja površina elektrokemično polirana. Ta postopek dodatno izboljša čistočo in odpornost izdelka proti koroziji ter zmanjša potencialno onesnaženje izdelka s plinom med uporabo.
To je čista soba s standardom čiščenja ISO stopnje 4. Izdelki se očistijo z ultrazvokom deionizirane vode, sperejo notranje ostanke, posušijo s plinom visoke čistosti, nato pa dvoslojno vakuumsko čiščenje in zaprto embalažo, da se zagotovi, da vam bodo izdelki dostavljeni v najčistejšem stanju.
Hikelok ustvarja čist, zaprt in varen prostor za plin, tako da lahko elektronski posebni plin bolje služi industriji polprevodnikov. Ali želite izvedeti več o naši seriji visoke čistosti? Naslednja številka, se vidimo.
Čas objave: 23. februarja 2022