Хикелок | Серия Ultra Pure помогает в разработке полупроводников

Введение: В последние годы, в связи с быстрым развитием новых энергетических транспортных средств и искусственного интеллекта, спрос на полупроводники продолжает расти. Быстрое развитие интеллектуальных технологий ускорило переход размеров полупроводников с микроэлектронного уровня на атомный уровень. Полупроводники третьего поколения открывают новую эру высококачественных разработок! В то же время процесс изготовления также более сложен. Какая продукция Hikelok может помочь в разработке полупроводников? Давайте узнаем больше вместе!

Новые технологии, такие как искусственный интеллект и большие данные, являются ключевыми движущими силами развития, что приводит к необходимости упаковывать более высокую производительность в меньшие по размеру чипы. Это означает, что производственный процесс станет более сложным, требующим более быстрого реагирования и более высокой надежности компонентов, чтобы гарантировать, что высокоточная транспортировка химикатов станет главным приоритетом.

Hikelok-Ultra Pure Series-1

Из-за точности и сложности производства полупроводниковых чипов, будь то клапаны для точного регулирования газа или соединители трубопроводов для подачи электронных газов, они должны соответствовать соответствующим отраслевым стандартам ASTM и SEMI и обладать следующими характеристиками:

1. Сырье из нержавеющей стали должно быть очищено с использованием VAR или VIM-VAR сверхвысокой чистоты, чтобы обеспечить требование сверхвысокой чистоты из источника;

2. Внутренняя поверхность, контактирующая со средой, должна пройти такие процессы, как электрохимическая полировка и пассивация, чтобы достичь сверхчистоты и одновременно улучшить коррозионную стойкость продукта;

3. Изделия из нержавеющей стали и пластика должны соответствовать соответствующим отраслевым стандартам ASTM и SEMI, таким как контроль анализа внутренней влажности, контроль анализа общего органического углерода (TOC) и контроль состава ионного загрязнения.

Продукция Hikelok серии сверхвысокой чистотыотвечают требованиям полупроводниковой промышленности к жидкостным компонентам и соответствуют отраслевым стандартам ASTM и SEMI, включая выбор сырья, высокие стандарты технологии обработки и испытания сборки в беспыльной мастерской на 100 уровнях. Типы продукции включают редукционные клапаны сверхвысокой чистоты, мембранные клапаны сверхвысокой чистоты, клапаны с сильфонным уплотнением сверхвысокой чистоты, интегрированные панели, фитинги сверхвысокой чистоты и EP-трубки. Доступны несколько типов размеров, и можно выполнить настройку в соответствии с собственными требованиями к установке на месте.

1、Фитинги сверхвысокой чистоты &Фитинги, сваренные встык

Хикелок-Ultra Pure Series-2

Фитинги сверхвысокой чистоты

Использование формы сварки металл по металлу для обеспечения надежной герметизации продуктов в диапазоне вакуума и положительного давления. После стандартного процесса обработки средняя шероховатость полировки поверхности соединения сверхвысокой чистоты, контактирующего со средой, может достигать 10% μ In. (0,25 мкм) Ra; После обработки сверхвысокой чистоты средняя шероховатость полированной поверхности, контактирующей со средой, может достигать 5 мкм. (0,13 мкм) Ра. Соединительная гайка сверхвысокой чистоты имеет отверстие для обнаружения утечек, что облегчает обнаружение утечек. Резьба гайки обработана серебрением, чтобы уменьшить износ резьбы и снизить риск зацепления резьбы во время установки.

Миниатюрные фитинги, сваренные встык

Расчетное давление рассчитывается на основе ASME B31.3 и ASME B31.1. Конструкция компактная и компактная, с точными размерами. Конец сварки прямой, без заусенцев, толщина стенки одинаковая. Он может обеспечить высокую совместимость с трубами EP и улучшить стабильность сварки. Шероховатость внутренней поверхности соединения может достигать 5 мкм. (0,13 мкм) Ra, средняя шероховатость поверхности после стандартной технологической обработки составляет 10 мкм. (0,25 мкм) Ра. Специально обработанные и очищенные соединения подходят для систем сверхвысокой чистоты, фотоэлектрических процессов и т. д., с возможностью выбора различных типоразмеров.

2、Клапаны с сильфонным уплотнением сверхвысокой чистоты

Серия BS1

Рабочее давление может достигать 1000 фунтов на квадратный дюйм (68,9 бар), а максимальная термостойкость составляет 482 ℃ (900 ℉). Мы можем предоставить нержавеющую сталь 316L, 316L VAR и различные сплавы. Конструкция соединения штока клапана может обеспечить надежное движение штока клапана. Невращающаяся конструкция головки клапана снижает износ в области седла клапана, а гофрированная труба точной формы обеспечивает надежную герметичность и срок службы. Ход гофрированной трубы строго контролируется, что эффективно повышает безопасность и срок службы гофрированной трубы.

серия БС3

Рабочее давление может достигать 500 фунтов на квадратный дюйм (34,4 бар), а максимальная термостойкость составляет 93 ℃ (200 ℉). Материалы: нержавеющая сталь 316L и 316L VAR, головки клапанов из PCTFE по умолчанию совместимы с большинством сред, а также могут поставляться клапанные головки из PI (полиимида). Безопасная и надежная конструкция крышки шарнирного клапана и гофрированная труба прецизионной формы обеспечивают надежную герметичность и срок службы, что делает герметизацию клапана гофрированной трубы безопасной и надежной. Специально разработанный шток приводного клапана гладкий.

Хикелок-Ultra Pure Series-3

Серия BBS1

Рабочее давление может достигать 375 фунтов на квадратный дюйм (25,8 бар), а максимальная термостойкость — 82 ℃ (180 ℉). Материал из нержавеющей стали 316L с высокой пропускной способностью. Конструкция соединения стержня клапана обеспечивает надежное перемещение стержня клапана, а невращающаяся конструкция головки клапана снижает износ в области седла клапана. Y-образная конструкция корпуса клапана обеспечивает расположение впускного и выпускного отверстий клапана на одной оси, обеспечивая высокую скорость потока и снижая гидравлическое сопротивление. Электрохимическая полировка внутренней поверхности, чистая и гладкая. Обладая высокой скоростью потока, высокими герметизирующими характеристиками и высокой безопасностью, он является лучшим выбором для систем распределения технологических газов высокой чистоты, систем очистки, систем фильтрации и систем распределения химикатов высокой чистоты.

3 Редукционные клапаны сверхвысокой чистоты

Серия ППР1

Это устройство регулирования давления, в основном используемое для контроля давления на входе и выходе, а также в системе, автоматической регулировки в режиме онлайн и мониторинга значения давления в системе обратной связи в режиме реального времени. Максимальное входное давление продукта может достигать 3500 фунтов на квадратный дюйм (241 бар), а диапазон выходного давления выбирается в соответствии с фактической трудовой ситуацией. Выбрано несколько материалов уплотнений седла клапана, которые можно использовать в агрессивных газах и особых газовых ситуациях, подходящих для различных условий работы и сред. Внутренняя поверхность изделия электрохимически отполирована до 10 дюймов (0,25 мкм) Ra, диафрагма и корпус клапана полностью металлические герметизированы с высокой надежностью.

4、Мембранные клапаны сверхвысокой чистоты

Хикелок-Ultra Pure Series-6
Хикелок-Ultra Pure Series-7

Серия ДВ5

На выбор доступны двойные типы высокого давления (3045 фунтов на квадратный дюйм/210 бар) и низкого давления (250 фунтов на квадратный дюйм/17,2 бар). Доступны материалы корпуса клапана 316L VAR и 316L VIM-VAR с множеством вариантов ручного и пневматического управления. В полностью закрытой конструкции седла клапана PCTFE используется материал диафрагмы Elgiloy для повышения прочности и коррозионной стойкости, длительный срок службы и электрохимическая полировка внутренней поверхности до 5 микродюйм (0,13) мкм) Ra, коэффициент утечки при обнаружении гелия составляет менее 1. × 10-9стандартный см3/s

Хикелок-Ultra Pure Series-4

 EP-трубки

Электрохимическая полировка внутренней поверхности с шероховатостью 10 мкм. (0,25 мкм) Ra, внешняя поверхность подверглась механической полировке, промывке кислотой и другим процессам, что в целом обеспечивает блестящее состояние. В 4 раза выше коэффициент безопасности для обеспечения безопасного и надежного использования.

Вышеуказанное является предпочтительным применением в полупроводниковой промышленности. Hikelok идет в ногу с тенденциями развития полупроводниковой промышленности и использует свой богатый опыт применения продуктов, чтобы предлагать в отрасли более высокопроизводительную и качественную продукцию! Для получения более подробной информации о заказе обратитесь к руководству по выбору на официальном сайте Hikelok. Если у вас есть какие-либо вопросы по выбору, пожалуйста, свяжитесь с круглосуточным профессиональным онлайн-продавцом Hikelok.

Для получения более подробной информации о заказе, пожалуйста, обратитесь к выборукаталогинаОфициальный сайт Хикелока. Если у вас есть какие-либо вопросы по выбору, пожалуйста, свяжитесь с круглосуточным профессиональным онлайн-продавцом Hikelok.


Время публикации: 9 мая 2024 г.