はじめに： 近年、新エネルギー自動車や人工知能の急速な台頭により、半導体の需要は拡大し続けています。インテリジェント技術の急速な発展により、半導体サイズのマイクロエレクトロニクスレベルから原子レベルへの移行が加速しました。第 3 世代半導体は高品質開発の新時代を到来させます。同時に、製造プロセスもより複雑になります。Hikelok のどの製品が半導体開発に役立ちますか?一緒にもっと学びましょう！
人工知能やビッグデータなどの新興テクノロジーは開発の重要な推進力であり、より優れたパフォーマンスをより小さなチップにパッケージ化する必要性につながっています。これは、製造プロセスがより複雑になり、高精度の化学物質輸送を保証するために、より高速な応答能力とより高いコンポーネントの信頼性が最優先事項になることを意味します。
半導体チップ製造の精度と複雑さのため、精密なガス制御用のバルブであれ、電子ガスを運ぶためのパイプライン コネクタであれ、関連する ASTM および SEMI 業界標準に準拠し、次の特性を備えている必要があります。
1. ステンレス鋼原料は、原料からの超高純度の要件を確実にするために、超高純度 VAR または VIM-VAR を使用して精製する必要があります。
2. 媒体と接触する内面は、製品の耐食性を向上させながら超清浄度を達成するために、電気化学研磨や不動態化などのプロセスを受ける必要があります。
3. ステンレス鋼およびプラスチック製品は、内部湿度分析制御、全有機炭素 (TOC) 分析制御、イオン汚染組成制御などの関連する ASTM および SEMI 業界基準を満たさなければなりません。
ハイケロックの超高純度シリーズ製品流体コンポーネントに対する半導体業界の要件を満たし、原材料の選択、高水準の加工技術、100 レベルの無塵作業場での組み立てテストなど、ASTM および SEMI の業界標準に準拠しています。製品タイプには、超高純度減圧弁、超高純度ダイヤフラムバルブ、超高純度ベローズシールバルブ、一体型パネル、超高純度継手、EPチューブなどがあります。複数のサイズタイプが用意されており、現場の独自の設置要件に応じてカスタマイズできます。
金属対金属のシール形式を採用し、真空および正圧領域で製品の確実なシールを実現します。標準的な処理プロセスの後、媒体と接触する超高純度ジョイントの表面研磨の平均粗さは 10% μ In を満たすことができます。(0.25μm)Ra;超高純度プロセス処理後、媒体と接触して研磨される表面の平均粗さは5μインチを満たすことができます。(0.13μm)Ra。超高純度ジョイントナットには漏れ検知穴が設けられており、漏れ検知が容易です。ナットのねじ山は銀メッキ処理で処理されており、ねじ山の摩耗を軽減し、取り付け時のねじ山の噛み込みのリスクを軽減します。
設計圧力は ASME B31.3 および ASME B31.1 に基づいて計算されます。構造はコンパクトでコンパクトで、正確な寸法が得られます。溶接端はバリがなく真っ直ぐで肉厚も均一です。EP管との高い適合性が得られ、溶接の安定性が向上します。ジョイントの内面の粗さは 5 μインチに達することがあります。（0.13μm）Ra、標準プロセス処理後の平均表面粗さは10μInです。(0.25μm)Ra。特別に処理および洗浄されたジョイントは、超高純度システム、太陽光発電プロセスなどに適しており、さまざまなサイズ タイプから選択できます。
使用圧力は 1000 psig (68.9 bar) に達し、最大耐熱温度は 482 ℃ (900 ℉) です。316L、316L VARステンレス鋼および各種合金材料を提供できます。バルブステムの接続設計により、バルブステムの信頼性の高い動作が保証されます。非回転バルブヘッド設計によりバルブシート領域の摩耗が軽減され、精密に成形された波形パイプにより信頼性の高いシール性能と耐用年数が実現します。波形パイプのストロークは厳密に管理されており、波形パイプの安全性と耐用年数が効果的に向上します。
使用圧力は 500 psig (34.4 bar) に達し、最大耐熱温度は 93 ℃ (200 ℉) です。316L および 316L VAR ステンレス鋼材料、デフォルトの PCTFE バルブ ヘッドはほとんどの媒体と互換性があり、PI (ポリイミド) バルブ ヘッドも提供できます。安全で信頼性の高いジョイントバルブキャップ設計、精密に形成された波形パイプは信頼性の高いシール性能と耐用年数を提供し、波形パイプバルブのシールを安全で信頼性の高いものにします。特別に設計されたドライブバルブステムはスムーズです。
使用圧力は 375 psig (25.8 bar) に達し、最大耐熱温度は 82 ℃ (180 ℉) です。高流量設計の 316L ステンレス鋼素材。バルブステム接続設計によりバルブステムの信頼性の高い動作が保証され、非回転バルブヘッド設計によりバルブシート領域の摩耗が軽減されます。Y 字型のバルブ本体設計により、バルブの入口と出口が同じ軸上に配置され、高流量が得られ、流れ抵抗が低減されます。内面は電解研磨処理されており、きれいで滑らかです。大流量、高シール性、高い安全性を備え、高純度プロセスガス供給システム、精製システム、ろ過システム、高純度薬液供給システムに最適です。
3、 超高純度減圧弁
これは圧力調整装置であり、主に上流と下流およびシステムの圧力を制御し、オンラインで自動的に調整し、フィードバックシステムの圧力値をリアルタイムで監視するために使用されます。製品の最大輸入圧力は 3500psig (241bar) に達することがあり、出口圧力範囲は実際の労働状況に応じて選択されます。腐食性ガスや特殊ガスに対応する弁座シール材を複数選択し、さまざまな使用条件・環境に対応します。製品内面は10インチ（0.25μm）Raまで電解研磨されており、ダイヤフラムと弁体はフルメタルシールされており信頼性が高いです。
高圧 (3045psig/210bar) と低圧 (250psig/17.2bar) のデュアル タイプが選択可能です。316L VAR および 316L VIM-VAR バルブ本体材質が利用可能で、手動および空圧操作用の複数のオプションがあります。完全密閉型の PCTFE バルブシート設計では、Elgiloy ダイヤフラム材料を使用して強度と耐食性を向上させ、長寿命で内面電気化学研磨が最大 5uin (0.13) μ m) Ra で、ヘリウム検出漏れ率は 1 未満です。 ×10-9標準センチメートル3/s
5、EPチューブ
EPチューブ
内面電解研磨、粗さ10μインチ。(0.25μm)Ra、外面は機械研磨、酸洗等の処理を行っており、全体的には明るい状態です。安全率4倍で安心・安全にお使いいただけます。
上記は、半導体業界で推奨されるアプリケーションです。Hikelok は半導体業界の発展傾向を追い続け、その豊富な製品応用経験を活用して、より多くの高性能および高品質の製品を業界に提供します。注文の詳細については、Hikelok 公式 Web サイトの選択マニュアルを参照してください。選択に関する質問がある場合は、Hikelok の 24 時間オンライン専門販売担当者にお問い合わせください。
ご注文の詳細については、選択肢を参照してくださいカタログの上ハイケロックの公式ウェブサイト。選択に関する質問がある場合は、Hikelok の 24 時間オンライン専門販売担当者にお問い合わせください。
投稿日時: 2024 年 5 月 9 日