Einleitung: In den letzten Jahren ist die Nachfrage nach Halbleitern mit dem rasanten Aufstieg neuer Energiefahrzeuge und künstlicher Intelligenz weiter gestiegen. Die rasante Entwicklung intelligenter Technologie hat den Übergang der Halbleitergröße vom mikroelektronischen zum atomaren Niveau beschleunigt. Halbleiter der dritten Generation läuten eine neue Ära hochwertiger Entwicklung ein! Gleichzeitig ist auch der Herstellungsprozess komplexer. Welche Produkte von Hikelok können bei der Halbleiterentwicklung helfen? Lasst uns gemeinsam mehr lernen!
Aufkommende Technologien wie künstliche Intelligenz und Big Data sind wichtige treibende Kräfte für die Entwicklung und führen zu der Notwendigkeit, mehr Leistung in kleinere Chips zu packen. Dies bedeutet, dass der Herstellungsprozess komplexer wird und schnellere Reaktionsfähigkeiten und eine höhere Zuverlässigkeit der Komponenten erfordert, um sicherzustellen, dass der hochpräzise Transport von Chemikalien höchste Priorität erhält.
Aufgrund der Präzision und Komplexität der Herstellung von Halbleiterchips sollten sie, unabhängig davon, ob es sich um Ventile zur präzisen Gassteuerung oder um Rohrleitungsanschlüsse für den Transport elektronischer Gase handelt, den relevanten ASTM- und SEMI-Industriestandards entsprechen und die folgenden Eigenschaften aufweisen:
1. Edelstahlrohstoffe müssen mit ultrahochreinem VAR oder VIM-VAR raffiniert werden, um die Anforderung einer ultrahohen Reinheit von der Quelle sicherzustellen;
2. Die mit dem Medium in Kontakt stehende Innenfläche muss Prozessen wie elektrochemischem Polieren und Passivieren unterzogen werden, um höchste Sauberkeit zu erreichen und gleichzeitig die Korrosionsbeständigkeit des Produkts zu verbessern.
3. Edelstahl- und Kunststoffprodukte müssen die relevanten ASTM- und SEMI-Industriestandards erfüllen, wie z. B. die Kontrolle der internen Feuchtigkeitsanalyse, die Kontrolle der Analyse des gesamten organischen Kohlenstoffs (TOC) und die Kontrolle der Zusammensetzung der Ionenverschmutzung.
Die Produkte der ultrahochreinen Serie von HikelokErfüllen Sie die Anforderungen der Halbleiterindustrie an Fluidkomponenten und erfüllen Sie die ASTM- und SEMI-Industriestandards, einschließlich Rohstoffauswahl, hochwertiger Verarbeitungstechnologie und Montagetests in einer staubfreien 100-Ebenen-Werkstatt. Zu den Produkttypen gehören ultrahochreine Druckminderventile, ultrahochreine Membranventile, ultrahochreine Faltenbalgventile, integrierte Panels, ultrahochreine Armaturen und EP-Schläuche. Es stehen mehrere Größentypen zur Verfügung und die Anpassung kann entsprechend den proprietären Installationsanforderungen vor Ort vorgenommen werden.
Verwendung einer Metall-Metall-Dichtungsform, um eine zuverlässige Abdichtung von Produkten im Vakuum- und Überdruckbereich zu erreichen. Nach dem Standardbehandlungsprozess kann die durchschnittliche Rauheit der Oberflächenpolitur der ultrahochreinen Verbindung in Kontakt mit dem Medium 10 % μ In erreichen. (0,25 μm) Ra; Nach der ultrahochreinen Prozessbehandlung kann die durchschnittliche Rauheit der in Kontakt mit dem Medium polierten Oberfläche 5 μ In erreichen. (0,13 μm) Ra. Die ultrahochreine Verbindungsmutter ist mit einem Leckerkennungsloch ausgestattet, das die Leckerkennung erleichtert. Die Mutterngewinde werden mit einer Versilberung behandelt, um den Gewindeverschleiß zu verringern und das Risiko eines Gewindeeingriffs während der Installation zu verringern.
Stumpfgeschweißte Miniatur-Fittings
Der Auslegungsdruck wird auf Basis von ASME B31.3 und ASME B31.1 berechnet. Die Struktur ist kompakt und kompakt, mit präzisen Abmessungen. Das Schweißende ist gerade ohne Grate und die Wandstärke ist gleichmäßig. Es kann eine hohe Kompatibilität mit EP-Rohren erreicht und die Schweißstabilität verbessert werden. Die Rauheit der Innenfläche der Verbindung kann 5 μ In erreichen. (0,13 μm) Ra, die durchschnittliche Oberflächenrauheit nach Standardprozessbehandlung beträgt 10 μIn. (0,25 μm) Ra. Speziell behandelte und gereinigte Verbindungen eignen sich für Ultrahochreinheitsanlagen, Photovoltaikprozesse usw., wobei verschiedene Größentypen zur Auswahl stehen.
Der Arbeitsdruck kann 1000 psig (68,9 bar) erreichen und die maximale Temperaturbeständigkeit beträgt 482 ℃ (900 ℉). Wir können Edelstahl 316L, 316L VAR und verschiedene Legierungsmaterialien liefern. Das Design der Ventilschaftverbindung kann eine zuverlässige Bewegung des Ventilschafts gewährleisten. Das nicht rotierende Ventilkopfdesign reduziert den Verschleiß im Ventilsitzbereich und das präzisionsgeformte Wellrohr sorgt für zuverlässige Dichtleistung und Lebensdauer. Der Hub des Wellrohrs wird streng kontrolliert, wodurch die Sicherheit und Lebensdauer des Wellrohrs wirksam verbessert wird.
Der Arbeitsdruck kann 500 psig (34,4 bar) erreichen und die maximale Temperaturbeständigkeit beträgt 93 ℃ (200 ℉). 316L- und 316L VAR-Edelstahlmaterialien, standardmäßige PCTFE-Ventilköpfe sind mit den meisten Medien kompatibel, und PI-Ventilköpfe (Polyimid) können bereitgestellt werden. Das sichere und zuverlässige Design der Verbindungsventilkappe und das präzisionsgeformte Wellrohr sorgen für eine zuverlässige Dichtleistung und Lebensdauer und machen die Abdichtung des Wellrohrventils sicher und zuverlässig. Der speziell entwickelte Antriebsventilschaft ist glatt.
Der Arbeitsdruck kann 375 psig (25,8 bar) erreichen und die maximale Temperaturbeständigkeit beträgt 82 ℃ (180 ℉). 316L-Edelstahlmaterial mit High-Flow-Design. Das Design der Ventilschaftverbindung gewährleistet eine zuverlässige Bewegung des Ventilschafts, und das nicht rotierende Ventilkopfdesign reduziert den Verschleiß im Ventilsitzbereich. Das Y-förmige Design des Ventilkörpers sorgt dafür, dass Einlass und Auslass des Ventils auf derselben Achse liegen, wodurch eine hohe Durchflussrate gewährleistet und der Strömungswiderstand verringert wird. Elektrochemische Polierbehandlung auf der Innenfläche, sauber und glatt. Mit hoher Durchflussrate, hoher Dichtleistung und hoher Sicherheit ist es die beste Wahl für hochreine Prozessgasverteilungssysteme, Reinigungssysteme, Filtersysteme und hochreine Chemikalienverteilungssysteme.
Hierbei handelt es sich um ein Druckregelgerät, das hauptsächlich zur Steuerung des Drucks vor und nach dem System, zur automatischen Online-Anpassung und zur Überwachung des Druckwerts des Rückkopplungssystems in Echtzeit verwendet wird. Der maximale Importdruck des Produkts kann 241 bar (3500 psig) erreichen, und der Ausgangsdruckbereich wird entsprechend der tatsächlichen Arbeitssituation ausgewählt. Es werden mehrere Ventilsitzdichtungsmaterialien ausgewählt, die in korrosiven Gasen und besonderen Gassituationen eingesetzt werden können und für verschiedene Arbeitsbedingungen und Umgebungen geeignet sind. Die Innenfläche des Produkts ist elektrochemisch auf 10 Zoll (0,25 μm) Ra poliert, die Membran und der Ventilkörper sind mit hoher Zuverlässigkeit vollständig metallgedichtet.
Es stehen Doppeltypen für Hochdruck (3045 psig/210 bar) und Niederdruck (250 psig/17,2 bar) zur Auswahl. Es stehen die Ventilkörpermaterialien 316L VAR und 316L VIM-VAR mit mehreren Optionen für den manuellen und pneumatischen Betrieb zur Verfügung. Das vollständig geschlossene PCTFE-Ventilsitzdesign verwendet Elgiloy-Membranmaterial zur Verbesserung der Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit, mit einer langen Lebensdauer und einem elektrochemischen Polieren der inneren Oberfläche von bis zu 5uin (0,13) μm) Ra, die Leckrate der Heliumerkennung beträgt weniger als 1 × 10-9Standard cm3/s
EP-Schlauch
Elektrochemisches Polieren der Innenfläche mit einer Rauheit von 10 μ In. (0,25 μm) Ra, die Außenfläche wurde mechanisch poliert, mit Säure gewaschen und anderen Prozessen unterzogen und weist einen hellen Gesamtzustand auf. 4-facher Sicherheitsfaktor für sicheren und zuverlässigen Einsatz.
Dies sind die bevorzugten Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Hikelok hält mit dem Entwicklungstrend der Halbleiterindustrie Schritt und nutzt seine umfangreiche Produktanwendungserfahrung, um der Branche noch leistungsfähigere und qualitativ hochwertigere Produkte anzubieten! Weitere Bestelldetails finden Sie im Auswahlhandbuch der offiziellen Website von Hikelok. Wenn Sie Fragen zur Auswahl haben, wenden Sie sich bitte rund um die Uhr an das professionelle Online-Verkaufspersonal von Hikelok.
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Zeitpunkt der Veröffentlichung: 09.05.2024